
PSA oksygengenerator for halvleder
Beskrivelse
Tekniske parametere
Hvorfor trenger halvlederindustrien PSA oksygengeneratorer?
Gassforsyning med høy renhet:Produksjon av halvleder har strenge krav til gassrenhet, og oksygen med høy renhet er uunnværlig for litografi, rengjøring og andre koblinger. Ved hjelp av trykkledningsadsorpsjonsteknologi produserer PSA oksygengenerator oksygen med en renhet på 95%± 3%, som oppfyller kravene til dannelse av oksydlag og rengjøring av skiven, og unngår risikoen for urenhetsforurensning av tradisjonell gasssylinder oksygentilførsel.
Sikre prosessstabilitet:Halvlederproduksjonslinjer krever kontinuerlig og stabil gassforsyning. PSA oksygengenerator bruker doble adsorpsjonstårn for å fungere vekselvis, og gjennom PLC intelligent kontroll kan den oppnå 24- time uavbrutt oksygentilførsel, unngå produksjonsavbrudd forårsaket av manuell flaskeutskiftning, og tilpasse seg prosesser som er følsomme for lufttrykk som tynn filmdeposisjon og etsning.
Reduser kostnadene og optimaliser plass:Sammenlignet med flytende oksygenlagringstanker og høytrykksgass-sylindere, produserer PSA oksygengeneratorer oksygen på stedet, og reduserer transport- og lagringskostnader kraftig. Det har et lite fotavtrykk og støtter modulær utvidelse, som tilfredsstiller behovene for å maksimere romutnyttelsen i rene workshops av halvlederfabrikker. Den langsiktige brukskostnaden er omtrent 20% lavere enn den tradisjonelle metoden.
Tilpasse til spesielle prosesser:I avanserte prosesser krever noen spesielle prosesser presis kontroll av oksygenkonsentrasjonen. PSA -oksygengeneratoren kan fleksibelt justere oksygenutgangsrinnen (95%-99. 9%) ved å justere adsorpsjonstrykket og molekylær sil -forholdet for å oppfylle de spesielle prosesskravene til 3D NAND -flash -minneproduksjon.
Miljøvennlig og lett å vedlikeholde:PSA -teknologi krever ikke kjemiske reagenser, og oksygenproduksjonsprosessen avgir ikke skadelige stoffer, som oppfyller miljøvernstandardene i halvlederindustrien. Utstyret bruker rustfritt stål i rustfritt stål og selvrensende molekylsikter, med en vedlikeholdssyklus på opptil 3-5 år, og er egnet for produksjonsmiljøer med høy renslighet.

| kategori | Parameterdetaljer |
| Oksygenrenhet | 93% -99. 5% (ULPA -filtreringssystem kan tilpasses, urenhetsinnhold mindre enn eller lik 1PPB) |
| Utgangstrykk | 0. 5-1. 5mpa (justerbar, tilpasset luftinntakets standard for halvlederutstyr) |
| Flow Range | 10-5000 nm³/h (støtter parallell utvidelse av flere enheter) |
| Duggpunkt | Mindre enn eller lik -70 grad (for å forhindre at vanndamp forurenser prosessmiljøet) |
| Energieffektivitet | Mindre enn eller lik 0. 38kwh/nm³ (høyeffektiv variabel frekvensstasjon, energisparing mer enn 30%) |
| Støynivå | Mindre enn eller lik 65dB (lav vibrasjonsstruktur + lydisolert skall, i tråd med klasse 1000 rene romstandarder) |
Kjernefordelene med PSA oksygengenerator

Ultra-høy renhetsgaranti
Dobbeltlag molekylær sileseng og katalytisk oksidasjonsenhet brukes til å fjerne urenheter som hydrokarboner og CO₂ dypt, og oksygenrensen når mer enn 99,5%, og oppfyller semi F20-standarden. Innebygd online-analysator i sanntid, datasynkronisering til fabrikk-SCADA-systemet for å sikre prosessstabilitet.
Intelligent kontroll og overflødig design
Integrert PLC+HMI-kontrollsystem, støtter fjernovervåking, selvdiagnostisering av feil og nødoverføring (dobbelttårnredusant adsorpsjon). Automatisk trykkkompensasjonsteknologi for å takle den øyeblikkelige etterspørselen med høy strømning av halvlederutstyr.
Energisparende løsning med lite karbon
VPSA (vakuumtrykkssvingadsorpsjon) Synergistisk teknologi reduserer energiforbruket, og sparer 15% -20% energi sammenlignet med tradisjonell PSA.Optional Waste Heat Recovery Module for å redusere workshopvarme.
Clean Room -kompatibilitet
Alt rustfritt stålstrømningskanal + nano belegg for å unngå metallionforurensning; Null lekkasjeforseglingsdesign, bestått ISO 8573-1 klasse 0 -sertifisering.
PSA oksygenplantetyper

Modulær utstyr

Twin Tower Equipment

Containerisert utstyr
| NTK95 -serie PSA Oxygen Generator Selection | ||||||
| Ingen. | Modeller | Kapasitet (NM3/HR) |
Renhet | Strømforbruk av 1nm3 oksygen produsert (kw/h) |
Antall flasker flet på 12 timer (PC -er) |
Operatør trengte |
| 1 | Ntk 95-5 s | 5 | 95%+-1% | 3.54 | 10 | 2 |
| 2 | Ntk 95-10 s | 10 | 95%+-1% | 2.52 | 20 | 2 |
| 3 | Ntk 95-15 s | 15 | 95%+-1% | 2.31 | 30 | 2 |
| 4 | Ntk 95-20 s | 20 | 95%+-1% | 2.13 | 40 | 2 |
| 5 | Ntk 95-25 s | 25 | 95%+-1% | 2.01 | 50 | 2 |
| 6 | Ntk 95-30 s | 30 | 95%+-1% | 2.09 | 60 | 2 |
| 7 | Ntk 95-40 s | 40 | 95%+-1% | 1.81 | 80 | 2 |
| 8 | Ntk 95-50 s | 50 | 95%+-1% | 1.94 | 100 | 2 |
| 9 | Ntk 95-60 s | 60 | 95%+-1% | 1.62 | 120 | 2 |
| 10 | Ntk 95-80 s | 80 | 95%+-1% | 1.92 | 160 | 2 |
| 11 | Ntk 95-100 s | 100 | 95%+-1% | 1.83 | 200 | 2 |
FAQ
1. Hvor høy kan oksygenens renhet være, og oppfyller den kravene til halvlederproduksjon?
Vår PSA -oksygengenerator for halvledere kan rutinemessig produsere oksygen med en renhet på 95%± 3%. For noen prosesser som krever ekstremt høy oksygenrenhet, ved å justere utstyrsparametrene, kan oksygenutgangsrinnen fleksibelt kontrolleres innenfor området 95% - 99. 9%, og oppfyller de strenge kravene til gassrenhet i kjernelinker som halvlederlitografi, rengjøring og oksidasjon.
2. Hvor stabilt er utstyret, og kan det sikre kontinuerlig drift av halvlederproduksjonslinjen?
Utstyret vedtar et dobbelt adsorpsjonstårn vekslende arbeidsmodus, kombinert med et PLC intelligent kontrollsystem, for å oppnå 24- time uavbrutt og stabil oksygentilførsel. Denne automatiserte driftsmodus unngår avbrudd i gassforsyning forårsaket av manuell utskifting av flaske, gir pålitelig og stabil gassforsyning for prosesser som tynnfilmavsetning og etsning som er følsomme for lufttrykk, og reduserer effektivt risikoen for produksjonsavbrudd forårsaket av problemer med gassforsyning.
3. Hva er kostnadene for bruk?
Sammenlignet med flytende oksygenlagringstanker eller høytrykksgass-sylindere, vedtar vår PSA oksygengenerator oksygenproduksjonsmodus på stedet, noe som sparer oksygentransport og lagringskostnader i stedet. Utstyret opptar et lite område og kan utvides modulært, noe som reduserer leiekostnadene. På lang sikt er kostnadene omtrent 20% lavere enn den tradisjonelle oksygenforsyningsmetoden, noe som sparer driftskostnadene betydelig.
4. Er vedlikeholdet av utstyret komplisert? Hvor lang er vedlikeholdssyklusen?
Utstyret er enkelt å vedlikeholde, ved å bruke mat i rustfritt stål og selvrensende molekylsikter, noe som reduserer vedlikeholdsmengden. Under normale omstendigheter er vedlikeholdssyklusen så lang som 3-5 år, og vi er utstyrt med et profesjonelt ettersalgsteam for å gi teknisk support når som helst for å hjelpe deg med å løse problemer under driften av utstyret.
Handle nå for å sikre oksygenforsyningskjeden din
✅ Tilpassede løsninger:
Fortell oss din sengekapasitet og topp etterspørsel etter et skreddersydd forslag.
✅ Rask levering:
Forhånds-konstruerte moduler sendt i 8-12 uker.
✅ Finansieringsalternativer:
Lease-to-own planer tilgjengelig.
Telefonnummer
+86 15888864725
WhatsApp -nummer
+86 15888864725
E-post
sales@newtek-group.com

Populære tags: PSA oksygengenerator for halvleder, Kina PSA oksygengenerator for halvleder, leverandører, fabrikk
Sende bookingforespørsel
Ta kontakt
Skriv din melding














